良好的晶相及均勻性, 並可進行客製化開發及量產。
良好穩定的物相, 保證鍍膜過程的穩定性
具有「維修」及 「製造」大型化 濺鍍靶材無氧銅冷卻背板能力之廠家
可客製化調整軟硬度及功能性 單一膜片同時實現內折及外折
主要用於微型化半導體製程中 之快速且低溫沉積均勻薄膜
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